Pengaruh energi dan dosis ion oksigen pada lapisan tipis SiO2 yang dihasilkan dengan metode implantasi
| Main Author: | Aji, Rufisius Sintoko |
|---|---|
| Format: | Skripsi |
| Language: | Ind |
| Published: |
Universitas Sanata Dharma
2004
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://www.library.usd.ac.id//web/index.php?pilih=search&p=1&q=73740&go=Detail |