Fabrikasi dan karakterisasi lapisan I, P dan N A-µC-Si:H yang dideposisi dalam reaktor PECVD tunggal pada frekuensi 70 Mhz
| Main Author: | Atmadi, Aufridus |
|---|---|
| Format: | Tesis |
| Language: | Ind |
| Published: |
Institut Teknologi Bandung
1998
|
| Subjects: | |
| Online Access: |
http://www.library.usd.ac.id//web/index.php?pilih=search&p=1&q=102472&go=Detail |